片式真空等离子清洗机:双工位处理平台有效提升半导体封装效率提升产能

来源:小九直播下载    发布时间:2024-08-01 14:39:11 74

  芯片键合(Die Bonding)是指将晶圆上切割下来的单个芯片固定到封装基板上的过程。其目的是为芯片提供一个稳定的支撑,并确保芯片与外部电路之间的电气和机械连接。常用的方法有树脂粘结、共晶焊接、铅锡合金焊接等。

  在点胶装片前,基板上如果存在污染物,银胶容易形成圆球状,降低芯片粘结度。因此,在DB工艺前,有必要进行等离子处理,提高基板表面的亲水性和粗糙度,有利于银胶的平铺及芯片粘贴,提高封装的可靠性和耐久性。在提升点胶质量的同时能节约银胶使用量,降低成本。

  芯片在引线框架基板上粘贴后,要经过高温使之固化。如果芯片表面存在污染物,就会影响引线与芯片及基板间的焊接效果,使键合不完全或粘附性差、强度低。在WB工艺前使用等离子处理,可以明显提高其表面附着力,来提升键合强度及键合引线的拉力均匀性,提升WB工艺质量。

  在Flip Chip(FC)倒装工艺中,将称为“焊球(Solder Ball)”的小凸块附着在芯片焊盘上。其次,将芯片顶面朝下放置在基板上,完成芯片与基板的连接后,常常要在在芯片与基板之间使用填充胶做加固,以提高倒装工艺的稳定性。

  通过等离子清洗能改善芯片和基板表面润湿性,提高其表面附着力,进而影响底部填充胶的流动性,使填充胶可以更好地与基板和芯片粘结,进而达到加固的目的,提高倒装工艺可靠性。

  Flip Chip (FC)倒装工艺等,能够大幅度提高其表面润湿性,保证后续工艺质量,来提升封装工艺的可靠性。

  可兼容多种弹匣尺寸,可自动调节宽度,提升效率并具备弹匣有无或装满报警提示功能

  LED行业:点银胶、固晶、引线键合前、LED封装等工序中可提高粘和强度,减少气泡,提高发光率

  PCB/FPC行业:金属键合前、塑封前、底部填充前处理、光刻胶去除、基板表面活化、镀膜,去除静电及有机污染物

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